国产正当时 | 聚光科技全面布局半导体精密检测 ICP-MS新进展
2021-12-01
聚光科技于2020年成立半导体事业部，整合高精密检测分析技术，以及各类进样技术和软件算法等综合能力，推出一系列解决方案，覆盖了痕量/超痕量金属污染检测、洁净室AMC在线监测、蚀刻剂近红外分析、特气监测与预警等半导体全产业链精密检测分析领域。
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